銀湖激光“鉆石（金剛石）激光精密切割設備”上榜2023年度浙江省首臺（套）裝備標準認定項目

根據浙江省委、省政府關于深入實施制造業首臺（套）提升工程的有關要求，浙江省經濟和信息化廳開展了2023年首臺（套）裝備標準認定工作。經企業申報、地經信局推薦、初審和專家評審，杭州銀湖激光科技有限公司研發的“鉆石（金剛石）激光精密切割設備”成功上榜。

“鉆石（金剛石）激光精密切割設備”主要應用于微電子半導體領域。隨著鉆石（金剛石）材料CVD生長等技術的進步，大尺寸單晶基底可應用于集成電路芯片、高頻高功率電子器件以及極端環境電子器件，可極大提高數據傳輸速度和降低功耗。鉆石（金剛石）材料，相比傳統陶瓷基片具有超高熱導率、低熱膨脹系數、超高擊穿電壓、穩定性等諸多優勢，是新一代基板材料的熱門研究重點。目前，鉆石（金剛石）基片的加工仍然存在巨大挑戰，高質量的基片加工制備對半導體先進封裝發展具有重要意義。該產品，作為一種“冷加工”工具，技術水平達到了國際先進，將為鉆石（金剛石）基片高速高精密加工帶來強有力支撐。